Triklorosilana adalah senyawa anorganik dengan rumus HSiCl3. Senyawa ini merupakan cairan yang tidak berwarna dan tidak stabil. Triklorosilana yang telah dimurnikan merupakan pendahulu silikon yang sangat murni dalam industri semikonduktor. Jika dicampur dengan air, triklorosilana akan langsung berdekomposisi menjadi polimer silikon dan asam klorida. Triklorosilana sangat reaktif, sehingga sering digunakan dalam proses sintesis senyawa organik yang mengandung silikon.[1]
Produksi
Triklorosilana diproduksi dari reaksi silikon dengan asam klorida pada suhu 300°C. Hidrogen juga dihasilkan dalam prosesnya.
