Oksail fluorida sedang diteliti untuk digunakan dalam etsa sebagai pengganti senyawa dengan potensi pemanasan global (global warming potential, GWP) tinggi.[2][3]
↑C. W. Tullock, D. D. Coffman (1960). "Synthesis of Fluorides by Metathesis with Sodium Fluoride". J. Org. Chem. 25 (11): 2016–2019. doi:10.1021/jo01081a050.
↑Simon Karecki; Ritwik Chatterjee; Laura Pruette; Rafael Reif; Terry Sparks; Laurie Beu; Victor Vartanian & Konstantin Novoselovc (2001). "Evaluation of Oxalyl Fluoride for a Dielectric Etch Application in an Inductively Coupled Plasma Etch Tool". J. Electrochem. Soc. 148 (3): G141 –G149. Bibcode:2001JElS..148G.141K. doi:10.1149/1.1348263.